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2025-11
鐘罩爐石墨盤(pán)的主體結(jié)構(gòu)
鐘罩爐石墨盤(pán)是鐘罩爐系統(tǒng)中的要害部件,首要用于承載和加熱工件,在半導(dǎo)體、光伏、熱處理等領(lǐng)域的高溫工藝中發(fā)揮重要作用。其主體結(jié)構(gòu)規(guī)劃需統(tǒng)籌導(dǎo)熱性、耐高溫性、機(jī)械強(qiáng)度及工藝適配性,以下是其主體結(jié)構(gòu)的詳細(xì)分析:1.主體結(jié)構(gòu)組成鐘罩爐石墨盤(pán)一般由以下幾部分構(gòu)成:(1)盤(pán)體(承載層) 資料:選用高純度、高密度燒結(jié)石墨,如等靜壓石墨(Is......
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2025-11
石墨盤(pán)如何優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
石墨盤(pán)可通過(guò)以下方法優(yōu)化結(jié)構(gòu)規(guī)劃,以進(jìn)步外延片生長(zhǎng)的均勻性、質(zhì)量和出產(chǎn)功率:凹槽與支撐結(jié)構(gòu)優(yōu)化: 設(shè)置支撐部件:在凹槽的上外表設(shè)置支撐部件,將襯底懸置,削減凹槽底面與襯底底面的接觸面積,使傳熱方法由熱傳導(dǎo)優(yōu)化為以熱輻射為主,行進(jìn)襯底受熱的均勻性。支撐部件的材料可為石墨,可與石墨盤(pán)一體化加工或獨(dú)自加工后固定,形狀可為球形、錐形、......
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2025-11
真空爐石墨連接片承壓能力如何
真空爐石墨聯(lián)接片的承壓才調(diào)受資料功用、結(jié)構(gòu)規(guī)劃及工況條件的概括影響,需結(jié)合具體參數(shù)進(jìn)行系統(tǒng)分析。以下是具體解析及優(yōu)化建議:一、石墨資料自身的抗壓特性常溫抗壓強(qiáng)度等靜壓石墨(如IG-11、ISO-63):常溫下抗壓強(qiáng)度約為70-100MPa,不同商標(biāo)差異明顯(需參看資料數(shù)據(jù)表)。模壓石墨:強(qiáng)度較低,一般為30-50MPa,適宜低載荷場(chǎng)景。高溫功用衰減......
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2025-11
石墨熱場(chǎng)加熱速度慢怎么辦
針對(duì)石墨熱場(chǎng)加熱速度慢的問(wèn)題,可經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)備規(guī)劃、改善加熱工藝、強(qiáng)化熱場(chǎng)處理以及引進(jìn)智能化操控等方法行進(jìn)加熱功率,詳細(xì)計(jì)劃如下:一、優(yōu)化設(shè)備規(guī)劃挑選高導(dǎo)熱性加熱元件 選用高純度石墨或碳碳復(fù)合資料作為加熱體,其導(dǎo)熱系數(shù)可達(dá)100-200W/(m·K),可行進(jìn)熱傳導(dǎo)功率。 事例:在直拉單晶爐中,運(yùn)用等靜壓石墨......
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2025-11
石墨熱場(chǎng)的熱場(chǎng)均勻性怎么實(shí)現(xiàn)的呢
石墨熱場(chǎng)的熱場(chǎng)均勻性是經(jīng)過(guò)資料特性、結(jié)構(gòu)規(guī)劃、加熱操控、隔熱優(yōu)化以及工藝調(diào)整等多方面協(xié)同作用結(jié)束的。以下是具體結(jié)束方法及原理:一、資料特性:高導(dǎo)熱性與低熱膨脹系數(shù)高導(dǎo)熱性 石墨的導(dǎo)熱系數(shù)高(約100-200W/(m·K)),能快速將熱量從加熱器傳遞至整個(gè)熱場(chǎng),削減部分溫度差異。 運(yùn)用:在直拉單晶爐中,石墨......
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2025-11
半導(dǎo)體ic封裝石墨模具的尺寸偏差
半導(dǎo)體IC封裝石墨模具的標(biāo)準(zhǔn)過(guò)錯(cuò),即公差,是一個(gè)要害參數(shù),它直接影響到封裝的質(zhì)量和功用。以下是對(duì)半導(dǎo)體IC封裝石墨模具標(biāo)準(zhǔn)過(guò)錯(cuò)的詳細(xì)分析:一、公差規(guī)劃 石墨制品的公差依據(jù)所出產(chǎn)的詳細(xì)材料和加工要求而定,通常在0.1mm至0.5mm規(guī)劃內(nèi)。但是,關(guān)于高精度的石墨制品,如半導(dǎo)體工作中的石墨模具,公差規(guī)劃可能會(huì)更小,以確保產(chǎn)品的安穩(wěn)......
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2025-11
石墨密封軸套碳含量的測(cè)量方法是什么
石墨密封軸套碳含量的丈量方法首要遵照石墨資料純度查驗(yàn)的一般方法,常用的包含焚燒法和直接分量法。以下是這兩種方法的詳細(xì)介紹:焚燒法 原理:經(jīng)過(guò)高溫灼燒石墨樣品,使石墨中的碳元素完全焚燒轉(zhuǎn)化為二氧化碳,然后測(cè)定剩余灰分的含量,然后推算出石墨中碳元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)。利益:操作簡(jiǎn)略、本錢(qián)較低。 缺點(diǎn):查驗(yàn)效果簡(jiǎn)略遭到......