高純石墨燒結盤介紹

高純石墨燒結盤具有許多明顯優勢，在多個工業領域發揮著重要作用，以下從特性、運用場景、制備工藝及表面處理等方面打開介紹：
特性
    高純度與高安穩性：碳含量超過99.99%，在2000℃以上仍能堅持結構安穩，熱膨脹系數低至4.3×10??/K，保證高溫環境下尺寸精度。
    杰出導熱與導電性：導熱系數高達120-195W/(m·K)，導電性比非金屬礦高百倍，適用于需求高效熱傳導或電學功能的場景。
    耐腐蝕與抗氧化：常溫下耐酸堿腐蝕，高溫抗氧化功能通過表面涂層（如碳化硅）可進一步進步，延伸運用壽命。
    自潤滑與低沖突：層狀結構賦予其自潤滑特性，沖突系數低至0.05-0.1，削減磨損并下降能耗。
    高精度加工性：可加工至平面度<0.1μm，滿意12英寸晶圓加工需求，適用于半導體等精密制造領域。
運用場景
    半導體制造：作為晶圓加工基板，支撐3nm芯片制造，通過梯度燒結技術優化層間應力，進步彎曲強度至450MPa。
    高溫燒結與熱處理：用于金屬熔融澆鑄、陶瓷燒結等工藝，承受高溫無變形，保證產品一致性。
    航空航天：運用于航空發動機葉片制造，在1600℃環境下壽命延伸400小時，滿意極點工況需求。
    新能源領域：適用于電池資料燒結，其高純度與化學安穩性可防止雜質引進，進步電池功能。
制備工藝
    原料挑選與提純：選用天然石墨或人造石墨，通過浮選、堿酸法、氫氟酸法等工藝將碳含量提純至99.99%以上。
    高溫燒結：在2000℃以上真空或慵懶氣氛中燒結，構成高度有序的晶須結構，增強機械強度與熱安穩性。
    脫碳處理：在高溫無氧環境中去除殘留雜質，進一步進步純度與化學安穩性。
表面處理
    碳化硅涂層：構成致密、耐磨損、高耐腐蝕的涂層，延伸運用壽命并實現高純度表面結構。
    鍍層與化學處理：增加耐磨性、防腐性，進步在高溫高壓環境下的安穩性。